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采用588888纽约国际线路检测中心仪器SJ6000激光干涉仪对测量机的动态误差进行了测量.通过测量部件之间的相互偏转来间接得到测头的动态位移误差
SuperView W1白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
表面三维微观形貌的测量方法非常丰富，通常可分为接触式和非接触式两种，其中以非接触式测量方法为主。下面介绍其中一种近年来国际上研究比较多的、发展也相对比较成熟的技术：扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌技术。
588888纽约国际线路检测中心仪器SuperView W1白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
在MEMS测试项目中，表面特性（粗糙度、台阶高）是一个非常重要的项目，目前主要是采用非接触式的光学3D轮廓仪(白光干涉仪）进行测量
测量模芯曲面，最经济、最有效的方式就就是采用粗糙度轮廓测量仪，588888纽约国际线路检测中心仪器自主研发的SJ5701粗糙度轮廓测量仪在模具中有着广泛应用，特别是针对一些有外形要求，形状尺寸要求、不规则曲面及表面粗糙度要求的模芯有独特的优势。
光学轮廓仪一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器
白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了白光干涉仪，其它的仪器无法达到其加工精度要求。
588888纽约国际线路检测中心仪器SuperView W1 系列光学3D表面轮廓仪可对硅晶片平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
激光检测设备中，主要有激光干涉仪、激光平面干涉仪、激光跟踪仪，但是很多朋友弄不清这三者的区别和应用，下面小编就来详细介绍这三者的区别，让您不在犯晕！！！
